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工業(yè)設(shè)備
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MEMS是指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級，是一個獨(dú)立的智能系統(tǒng)。主要由傳感器、動作器（執(zhí)行器）和微能源三大部分組成。
MEMS的特點(diǎn)就是?。?-100微米），非常小，比頭發(fā)絲還?。?0微米）。
MEMS的原理：把機(jī)械臂與電磁感應(yīng)圈做成一個吸引電級系統(tǒng)，通電后，電磁像磁鐵一樣把懸臂吸引過來，和傳輸線連上，這是開；斷電后，磁性消失，懸臂與傳輸線斷開，這是關(guān)。
MEMS的應(yīng)用：MEMS在我們生產(chǎn)，甚至生活中早已無處不在了，智能手機(jī)，健身手環(huán)、打印機(jī)、汽車、無人機(jī)以及VR/AR頭戴式設(shè)備，部分早期和幾乎所有近期電子產(chǎn)品都應(yīng)用了MEMS器件。
MEMS在光通信行業(yè)的應(yīng)用包括：MEMS VOA(可調(diào)光衰減器)、MEMS光開關(guān)、MEMS光透鏡陣列、MEMS光可調(diào)濾波器等。
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